「ＬＳＩ」設計製作技術

電気書院
谷川紘　雨宮好仁　

• 価格: 6,729円（本体6,117円＋税）
• 発行年月: 1987年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784485662229

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１編　ＩＣの基礎（ＭＯＳＦＥＴの原理；回路設計；パターン設計；マスク製作；ＭＯＳＬＳＩの製造プロセス；回路試験；組立工程）
第２編　実用技術と装置（設計；マスク製作；ウェーハプロセス；回路試験；組立とパッケージング；信頼性）