- 真空ハンドブック
-
- 価格
- 9,020円（本体8,200円＋税）
- 発行年月
- 1992年11月
- 判型
- Ｂ５
- ISBN
- 9784274086373
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[BOOKデータベースより]
第１章 真空の基礎
第２章 真空用部品
第３章 真空用構成材料
第４章 熱
第５章 低温
第６章 プラズマ・イオンビーム
第７章 表面分析
第８章 薄膜・標面加工
第９章 化学・薬品・食品工業への真空の応用
第１０章 その他の資料