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価格：4,620円（本体4,200円＋税）
【1988年01月発売】
価格：2,750円（本体2,500円＋税）
【2021年09月発売】
価格：1,760円（本体1,600円＋税）
【2021年06月発売】
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[BOOKデータベースより]
序章 超微細加工
第１章 単結晶引上
第２章 熱酸化
第３章 リソグラフィー
第４章 エッチング
第５章 ドーピング―熱拡散とイオン注入
第６章 薄膜の基本的性質と薄膜作成法の概要
第７章 気層成長法・ＣＶＤ・エピタクシー
第８章 蒸着とイオンプレーティング
第９章 スパッタ
第１０章 平坦化技術